真空等離子清洗機實際上是一個表面處理系統，配置的兼容性非常重要，要想工作穩定，每一個零部件的運行都不能出任何差錯。尤其是對于UPH要求很高的工廠，一旦出現故障，又不能夠及時排除，損失會非常大。
真空等離子清洗機常見的故障報警及處理方法：
1 真空等離子清洗機真空泵熱過載保護，請檢查線路和真空泵故障
①出現此情況請首先觀察真空等離子清洗機的系統參數設置有無變化，真空等離子清洗機突然斷電會引起系統參數歸零，導致設備出現此類報警。
②如系統參數無變化，請確認熱繼電器是否自動保護，按復位鍵，然后啟動真空發生系統。如沒有自動保護，請檢查電氣線路有無斷路或短路情況。
③檢查導線是否有斷路或短路情況。
④如無上述異常，請檢查真空等離子清洗機的真空泵。
2 真空等離子清洗機三相供電相序異常，請更換相序
真空等離子清洗機有相序保護繼電器，如出現此類報警，請更換相序。
3 真空等離子清洗機一路供氣壓力過低，請檢查氣體是否開啟或氣體是否耗盡
4 真空等離子清洗機二路供氣壓力過低，請檢查氣體是否開啟或氣體是否耗盡
3及4是氣路控制系統報警，出現此報警請先檢查氣體是否打開或耗盡。如氣體沒有問題，請檢查設備減壓表、氣路電磁閥及流量計是否正常工作。檢查電氣線路是否出現斷路或短路。
5 真空等離子清洗機放空氣體壓力過低，請檢查氣體是否開啟或氣體是否耗盡
如出現此類報警，請檢查真空等離子清洗機腔體底部的破真空所用氣路電磁閥是否正常工作，線路有無斷路或短路。
6 真空等離子清洗機真空室門未關好，請關好真空室門
①在真空等離子清洗機真空腔門沒有關上的情況下，啟動設備會出現此類報警，請關好真空門。
②如真空腔門關好出現此報警，請檢查傳感器及線路。
7 真空等離子清洗機的真空泵機械故障，請檢查真空泵抽空能力，故障排除點擊復位鍵
①所處理產品有嚴重滲氣情況，真空倒計時時間設備較短，無法在設備時間內抽到背底真空。
②真空泵故障，需檢查保養真空泵。
8 真空等離子清洗機真空度過高，系統自動停機，請檢查故障，故障排除點擊復位鍵
①進氣流量設置較大，無法保持真空度。
②流量計故障，無法控制流量。請檢查線路及流量計。
③真空腔體或管道漏氣，檢查各連接部位及腔體密封。
④檢查系統參數設置。
9 真空等離子清洗機真空度過低，系統自動停機，請檢查供氣是否正常
①進氣流量設置較小，無法保持真空度。
②流量計故障：流量計出現堵塞或損壞。
③檢查減壓表、氣路電磁閥是否正常工作。
④檢查系統參數設置。
10 真空等離子清洗機真空計故障報警，真空計故障或損壞，請檢查并更換真空計，檢查真空計是否損壞，檢查真空計控制線路是否有斷路或短路。
11 真空等離子清洗機急停未復位或已按下，請打開急停開關，檢查急停是否被按下，如沒有此情況，請檢查急停線路。
12 真空等離子清洗機電源故障報警
①檢查電源設備與反饋信號是否正常（萬用表測量和檢測端子是否壓緊）。
②檢查同軸電纜及各連接線是否正常（萬用表測量和檢查連接是否松動）。
③查看匹配器電容初始位置是否偏移，如有偏移請重新設定。
④檢測電源設定是否正常，檢測匹配器的電容是否正常運行。
以上是12種真空等離子清洗機故障報警及處理方法的相關常識知識希望對大家有所幫助。
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