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誠峰等離子處理器的構造關鍵劃分為三個大的部件組成:
誠峰等離子處理器運用于清理、蝕刻、浸涂、灰化和表面改性等領域。經過其清理,可以改進材質表面的濕潤性能,使多種材質可以進行浸涂等操控,加強附著力、鍵合力,另外除去有機污染物、油污或油脂。誠峰等離子處理器就是說經過使用這種活性組分的性質來清理樣品表面,進而實現清潔等目標。plasma等離子清洗機可用于清理、蝕刻、活化和表面準備等。等離子體和固態、液體或氣體相同,是物質的1種狀態,也稱為物質的第四態。對氣體增加充足的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的”活性”組分包含:離子、電子、活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。誠峰等離子處理器就是說經過使用這種活性組分的性質來清理樣品表面,進而實現清潔、改性、光刻膠灰化等目標。
誠峰等離子處理器的構造關鍵劃分為三個大的部件組成,分別是控制單元、真空內腔以及真空泵。
1.控制單元
國內的等離子處理器,包含國外進口的,控制單元關鍵劃分為半自動控制、全自動控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式。而控制單元又劃分為2個大的部件:
1)電源部件:關鍵電源頻率有3種,分別是四十KHz、13.56兆赫茲、2.45GHz,其中13.56兆赫茲是要電源匹配器的。
2)系統控制單元:按鈕控制(半自動、全自動)、計算機控制、PLC控制(液晶觸摸屏控制)3種。
2.真空內腔
真空內腔主要是劃分為2種質材的:
1)不銹鋼真空內腔
2)石英內腔
3.真空泵
真空泵劃分為2種:
1)干泵
2)油泵
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