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等離子清洗機不放電或者放電不穩定，往往是等離子發生器的阻抗匹配出了狀況。等離子發生器在進行能量傳輸時，假如反應腔體和電極（以下簡稱負載）阻抗和傳輸線的特征阻抗不相等，就會在傳輸時發生反射，有部分能量通過發熱等方式損失掉了，而不是所有能量都被等離子清洗機的負載吸收，這樣就會直接影響等離子表面處理的效果。
在高頻放電回路中，為了保證用于放電區的功率消耗保護振蕩器，常規的做法就是在高頻電源與等離子腔體、電極之間設置阻抗匹配網絡，以便按不同放電條件進行調節，使高頻發生器的輸出阻抗與負載阻抗能夠匹配，讓等離子清洗機放電穩定，工作效率高。
影響等離子清洗機匹配效果的幾個主要因素
等離子清洗機的匹配器，就好比是等離子發生器的伴侶，兩者要相互匹配，不可用小功率的匹配器去適應大功率的等離子發生器，除此之外，要想等離子清洗機取得理想的匹配效果，還需注意以下幾個方面。
1.在設計等離子清洗機的反應腔體和電極的時候，要與匹配器供應商充分溝通相關技術參數，以滿足等離子清洗機的匹配要求；
2.等離子清洗機在安裝匹配器的時候，應盡量靠近反應腔體和電極，縮短連線，減少功率損耗；
3.氣體流量、真空度、處理的產品材質和數量等因素都可能影響阻抗匹配，需根據實際情況做調整。
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