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CRF plasma 等離子清洗機

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電感和電容耦合放電方式的等離子清洗機機型

       在小型等離子清洗機的工作原理中,電容耦合(不銹鋼腔)和電感耦合(應時玻璃腔)一直有兩個工作原理。這兩種工作方法有什么區別?
       容性耦合等離子體是產生容性耦合等離子體最早、應用最廣泛的方法,廣泛應用于清洗、蝕刻和表面改性。電容耦合等離子體又稱電場耦合等離子體。它的產生機制是在低壓條件下,在兩極板之間施加高頻電場,使氣體電離,產生穩定的plasma。

       感應耦合是感應線圈中的交流電場,在反應室中耦合感應產生二次電場,在低壓下激發等離子體。
       外電極結構易于實現電感耦合等離子體,用于等離子體清洗,可更好地解決極板濺射問題。電感耦合等離子體廣泛應用于原子光譜分析。利用ICP光源產生光譜,根據物質的特性分析物質的化學成分、結構和存在。
       典型的外部電極結構是最早的電感耦合結構,其特點是結構簡單,無電極污染。但由于二次耦合,耦合效率低,等離子體均勻性差。
       平面耦合線圈可以產生大面積的等離子體。適用于等離子蝕刻、等離子精脫膠等高端要求較高的場合。
       由于電感線圈位于等離子體中,線圈具有良好的耦合性和高效率,但電極浸泡在等離子體中,在電場的作用下被顆粒轟擊,線圈的大小會發生變化,電極容易濺射,對清洗或蝕刻的材料有害。當污染發生時,在使用這種結構時,有必要在電感線圈表面包裹一層介電層。由于無線電頻率為13.56MHz,波長為22米,因此具有很強的穿透力。
       不銹鋼板通常由電容器耦合等離子體清洗機的反應室(真空室)制成。電容板位于真空室。金屬盒本身屏蔽效果好,不需要單獨考慮屏蔽。
       感應耦合真空室由應時玻璃制成,感應線圈安裝在真空等離子體清洗機外。如果不考慮屏蔽,在使用過程中會產生強烈的射頻電磁干擾,影響控制系統和其他設備的正常運行。





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