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金剛石膜化學沉積通常指等離子沉積實驗

金剛石膜化學沉積通常指等離子沉積實驗:
       制備的金剛石膜是1種有著等離子體化學氣相積累能力的工藝。由于薄膜金剛石在超硬維護涂層、光窗口、熱沉數據、微電子等方面也起著至關重要的作用,因而,當人類掌握了金剛石薄膜的制備技術,特別是單晶金剛石薄膜的制備技術后,依靠數據的前史就會由硅材料年代迅速進入金剛石年代。但現在對等離子沉積金剛石膜的機理尚不明白,特別是異質外延單晶金剛石膜,其困難之處在于:低溫等離子體處于熱不平衡狀態,所使用的反應氣體也是多原子分子,反應體系復雜,缺乏基本的數據支持。然而,經過20多年的理論和實驗研究,人們不僅發展了許多等離子體化學氣相沉積制備金剛石薄膜的工藝,而且通過對實驗數據的分析和總結,對影響金剛石薄膜生長的因素也有了一定的認識。對于多晶金剛石膜的生長,成核是關鍵,而影響成核的因素很多,包含等離子體條件、基質數據、溫度等。

等離子沉積

        通過等離子沉積金剛石膜,首先要了解金剛石的成核過程,一般將其分為兩個階段:含碳基團到達基體表面,然后分散到基體內部;第二階段是到達基體表面的碳原子在基體表面上以缺陷、金剛石子晶等為中心的成核、生長。

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